НАЗНАЧЕНИЕ
Система предназначена для центрифужного нанесения (spin coating) тонких равномерных плёнок на плоские твёрдые подложки (кремний, стекло, металл) с помощью центробежной силы.
- Скорость вращения: от 100 до 10 000 об/мин;
- Точность поддержания скорости: выше ±1 % от макс. значения;
- Ускорение: от 40 до 5 000 об/мин за шаг;
- Программирование: до 15 встроенных программ (до 20 шагов на программу);
- Рабочая камера: диаметр 8 дюймов (200 мм) с защитным тефлоновым (PTFE) покрытием;
- Фиксация образца: вакуумный держатель подложки.
На страницу ресурсного центра